Проект «Сфера-82»: Цвет и слой - Станислав Миков

спецфонде отчеты по вашему контролю, — Громов посмотрел на Ахметова, постукивая карандашом по блокноту. — Теория ясна, но на практике всё упирается в форму передачи. Как именно ваши стенды физически выдают журнал отказов? Если мы напечатаем результат в своих кодах, а вашим инженерам придется вручную переводить их в форматы ваших стоек — мы утонем в путанице еще до начала эксперимента. Человеческий фактор угробит весь процент достоверности. В каком виде ваша техника выдает протокол на бумагу?

— Коды отказов выводятся на цифробуквенный печатающий узел протоколом испытания, — негромко произнес Слава Крылов, сидевший у окна. Молодой инженер Научного Центра держал в голове порядок работы их стендов и владимирские ограничения. — Стандартная кодировка КОИ-7. Линии, столбцы, номера ячеек.

Громов кивнул и тут же записал это в блокнот.

— Отлично. Значит, мы заложим эти коды в свой вывод. Выдадим вам распечатку с теми же обозначениями узлов, которые печатает ваш стенд. Никакого ручного перевода. Вы просто положите наш лист рядом со своим журналом.

— Допустим, — Савельев придвинул к себе бланк протокола. — Память мы вчера утвердили. Теперь уточняем: тип изделия, структура, контролируемый признак. Произвольную логику сюда не впишешь, в деталях закопаетесь.

— Берём регулярную матрицу, — ответил Морозов, кивнув на пухлый журнал ОТК, лежащий перед Ахметовым. — Произвольную логику наша машина сейчас просто не переварит, вы правы. Нам нужна жестко повторяющаяся структура.

Ахметов шумно втянул воздух, словно у него разом заныли все зубы, и с силой потер подбородок.

— Динамическая память. Шестьдесят четыре килобита, — тяжело констатировал начальник испытаний, глядя на владимирцев так, будто они попросили у него ключи от сейфа. — Наш самый кровавый участок. Плотность упаковки на физическом пределе оборудования. Малейший уход температуры при диффузии в печи, пылинка в чистой зоне, крошечный сдвиг маски — и кристалл идет в брак. Адресные ошибки там сыплются пачками, мы их целыми пластинами в изолятор отправляем.

— Именно поэтому память хорошо подходит для первого опыта, — сказал Алексей. — Матрица состоит из тысяч повторяющихся ячеек. Если технолог ошибся в зазоре или на пластину легла пыль при фотолитографии, дефект многократно тиражируется. Сейчас на вашем стенде вы получаете отказ всей линии адресации. Стенд просто печатает «ошибка столбца» или «пробой строки». И вы не знаете, где конкретно нарушена физика — в дешифраторе, в буферном каскаде или перемкнуло саму металлизацию. Наша задача — выдать вам точную координату этого пробоя. Помните, что я говорил в свой прошлый приезд?

Ахметов нахмурился, вспоминая.

— Если вы точно знаете, что топология коротнула строго в одной половине матрицы и дефект не потянет за собой остальную логику, вы этот кристалл в изолятор брака не списываете, — продолжил Алексей. — Вы аппаратно отсекаете битую половину и выпускаете чип как память на 32 килобита. Заказчики вроде нас такой «брак» с руками оторвут для школьных и бытовых машин. Дешево, сердито, и процент выхода годных по цеху не летит в пропасть. Но чтобы пускать это в ширпотреб с чистой совестью, вам нужно точно понимать геометрию дефекта. Мы дадим вам эту координату.

Савельев, до этого молча слушавший, медленно кивнул. Аргумент про спасение заводского плана работал безотказно.

— Звучит крайне прагматично, — Савельев аккуратно вывел на чистом бланке заголовок: «Паспорт опытной работы». — Но в кристалле динамической памяти несколько слоев: поликремний, диэлектрик, металл первого уровня, второго. Значит, нужно сразу и жестко зафиксировать в паспорте конкретный проверяемый уровень.

Липатов, внимательно следивший за каждым движением ручки председателя, негромко добавил:

— Совершенно верно. В графе «контролируемый признак» должна стоять одна проверяемая вещь, иначе мы потом не поймем, сработал метод или нам повезло с конкретным образцом.

* * *

От батарей центрального отопления тянуло сухим жаром. Дискуссия спустилась с уровня системной архитектуры к топологии и производственному маршруту.

Ланская достала из картонного тубуса свернутый в плотную трубку лист. Синька легла на переговорный стол, громко зашуршав. Чтобы края не скручивались обратно, в ход пошла массивная стеклянная пепельница и чей-то пухлый блокнот.

— Посмотрите сюда, Морозов, — Ланская провела тупым концом карандаша по лабиринту пересекающихся синих линий. Фрагмент кристалла, увеличенный в сотни раз, рябил в глазах, напоминая план безумного мегаполиса, расчерченный под прямыми углами. — Вы исходите из того, что чертеж идеален. Но в цехе у нас рубилит, скальпель и допуск на усталость руки оператора.

Она уперла грифель в едва заметный излом на длинной магистрали проводника.

— Вот это — технологическая отметка для совмещения. А здесь заложен намеренный сдвиг под расплывание металла при травлении. Машина решит, что перед ней задир или ошибка чертежника. Реальному кремнию плевать на вашу математику.

— Мы и не пытаемся заменить цеховой микроскоп программой, — ответил Морозов, не поддаваясь на резкий тон. — Наше программное решение не выносит окончательный приговор и не объявляет кристалл браком. Она проверяет узкое формальное правило на выбранном участке. Если видит сближение линий больше заданного — выдает координату. Мы передаем вам список подозрений, а технолог смотрит в окуляр и решает: здесь расплывание в пределах допуска, а здесь — реальное короткое замыкание.

Руденко подвинулся ближе к чертежу, опираясь широкими ладонями о столешницу.

— Двухслойная пленка деформируется, — произнес он основательным тоном практика. — Полиэфирная основа дышит. Даже в чистом помещении пленка реагирует на микроколебания влажности и температуры. Плюс координатограф управляется руками. Оператор к концу смены устает, дает микроскопический люфт при резке. Программа возьмет идеальную модель и выдаст ошибку зазора. А технолог посмотрит на пластину и пропустит её дальше, потому что для фотошаблона отклонение в десятую долю микрона — это норма.

— Принимается как условие опыта, — Морозов сделал короткую пометку на своем листе. — Первый прогон — это один слой, один проверяемый зазор и один небольшой фрагмент. Физические допуски остаются полностью на вашей стороне. Наша задача — выдать подозрительную точку, чтобы вам не пришлось искать её вслепую по всей пластине.

Кац поправил на переносице очки в роговой оправе. Программист Научного центра перевел разговор из плоскости физики в плоскость данных.

— Допустим, фрагмент маски мы выделим, — произнес он, глядя на Алексея поверх линз. — Тогда мне нужна графа «форма выдачи». Не общие слова про топологию, а что именно уходит из НЦ. Прямого доступа к внутренним носителям мы вам дать не можем. Откуда берутся координаты, чья подпись, какая контрольная сумма?

Евгений Громов перестал вычерчивать квадратные спирали в блокноте и поднял голову.

— Прямое