Проект «Сфера-82»: Цвет и слой - Станислав Миков

стенд… Вот тогда копеечный брак превращается в рублевый убыток. Мы тратим машинное время, человеко-часы, драгметаллы и дефицитные корпуса на то, что было мертво еще в диффузионной печи.

В зале слышалось только монотонное гудение люминесцентных ламп. Лазарев говорил на языке, который понимал каждый присутствующий, указывая на главную проблему завода.

— Наша лаборатория предлагает разорвать этот порочный круг, — Лазарев подошел к столу и небрежно бросил на зеленое сукно стопку черно-белых фотографий. — Внешний производственный стенд. Зондовая проверка до корпусировки. Мы позиционируем головку прямо на неразрезанной пластине. Иглы касаются контактных площадок. Стенд подает тестовые последовательности. Мы проверяем ячейки памяти, дешифраторы, цепи записи и чтения в динамике.

Он взял мел и начал быстро, со стуком, писать колонки цифр рядом со схемой пластины.

— Если кристалл не проходит тест — он помечается. Краской, автоматическим маркером, неважно. На выходе мы имеем карту пластины. В сборку и корпусировку идут только те изделия, которые подтвердили свою работоспособность на электрическом уровне. Экономия корпусов — колоссальная. Сокращение нагрузки на финальный контроль — в разы. Мы перестаем греть воздух и упаковывать мусор.

Морозов слушал, чуть откинувшись на спинку стула. Лазарев был великолепен. Его логика была железобетонной, привязанной к земле, к плану, к реальности. Прямое, немедленное спасение государственных фондов — в котором, однако, зияла серьезная прореха.

Ахметов поднял руку, не дожидаясь, пока председательствующий объявит время для вопросов.

— Георгий Матвеевич. Зонд — штука капризная. Механика есть механика. Пылинка попала, окисел на площадке чуть толще нормы, вибрация станины. Стенд покажет обрыв линии. Вы забракуете абсолютно годный кристалл из-за плохого контакта иглы. Как вы отличаете битую ячейку от неверного касания?

Лазарев мгновенно развернулся к Ахметову, ничуть не смутившись ударом.

— Отличный вопрос, Тимур Рашидович. Мы не бьем тестом вслепую. Сначала идет короткая, предварительная проверка цепей питания и базового сопротивления. Если контакта нет — стенд повторяет касание, смещая зонд на микроны. Алгоритм не пишет «брак» при первой неудаче. Только после подтверждения электрической целостности цепи запускается основной, тяжелый набор тестовых векторов.

Вступила Ланская. Она сидела очень прямо, сложив руки перед собой, ее голос звучал холодно и профессионально.

— Допустим, стенд нашел дефект. И не один. На всей пластине, скажем, в левом верхнем углу каждого десятого кристалла вылетает один и тот же блок памяти. Электрический отказ. Что ваш стенд с этим делает, кроме того, что ставит крестик?

Лазарев снял очки и потер переносицу, чуть сбавив напор.

— Стенд фиксирует факт, Ирина Павловна. Он показывает повторяемость дефекта. Он выдает карту, на которой это пятно будет видно невооруженным глазом. А дальше — это уже работа технологов и ваша, топологов. Искать причину. Мы ловим отказ. Мы не можем залезть внутрь кремния и сказать, что у вас там зазор на маске поплыл или фоторезист недоэкспонирован.

* * *

Савельев методично выровнял стопку бумаг перед собой, сложил руки домиком и посмотрел на Морозова долгим, тяжелым взглядом.

— Алексей Николаевич. Вас пригласили как человека, который в прошлом году поднимал смежные вопросы контроля на уровне проектирования. Ваше мнение о представленной системе?

Зал слегка подобрался. Повисла выжидательная тишина.

Морозов медленно поднялся. Он не стал выходить к доске, оставшись стоять у своего места, опершись костяшками пальцев о зеленое сукно.

— Мое мнение — систему нужно внедрять на «Микроне» вчера, — ровно произнес Алексей.

По залу пронесся тихий, недоуменный гул. Лазарев, приготовившийся к глухой, злой обороне, нахмурился, подозрительно глядя на оппонента.

— Плохой кристалл нужно ловить на пластине, — продолжил Морозов, обводя взглядом лица инженеров. — Георгий Матвеевич абсолютно прав. Любая копейка, вложенная в корпусировку мертвого кремния — это преступление против экономики завода. Логика внешнего контроля до сборки безупречна.

Лазарев прищурился, крутя в сильных пальцах дужку очков.

— Тогда где ваше возражение, Морозов? У хорошего оппонента оно должно быть. Иначе зачем вы приехали из Владимира?

— Возражения нет. Есть вопрос о границе метода, — Морозов выдержал тяжелый взгляд Лазарева. — Ваш стенд, Георгий Матвеевич, дает проверяемый факт. Но он дает его после того, как пластина прошла весь технологический цикл. Вы отлично сортируете готовое. Отделяете брак от годного, и это необходимо. Но если у нас систематически плывет зазор на маске, никакая сортировка в конце конвейера эту ошибку не исправит.

Морозов шагнул чуть в сторону от стола, освобождая пространство.

— Ирина Павловна задала правильный вопрос. У вас повторяющийся дефект. Стенд выдал карту. Производство получило наглядную картину брака. Но причина этого брака родилась три месяца назад — в допуске, в геометрии проводника, в правиле перекрытия слоев на рубилите. Как факт с вашей карты попадет на стол к топологу?

Лазарев пожал плечами, его голос прозвучал резче:

— Как обычно. Через отдел анализа отказов. Технологи возьмут микроскоп, возьмут кальки, посмотрят журналы…

— Именно. Возьмут кальки, — перебил Морозов, не повышая голоса, но добавляя в него стальной плотности. — У испытателя в руках — рулон бумажной распечатки со стенда. У технолога — технологическая карта. У тополога — листы рубилита и координатная сетка. Это три разных языка. Три разных документа, лежащих в разных зданиях. И между ними — недели потерянного времени.

Вмешался Кац. Он говорил, не поднимая глаз от своих записей, словно размышляя вслух, но его голос четко разносился по залу.

— Даже если они решат связать эти массивы, на БЭСМ-6 машинное время расписано на месяцы вперед. Никто не даст топологам гонять тяжелую вычислительную машину ради сверки каждой партии со стенда. Система просто захлебнется в очередях на обработку.

Морозов кивнул Кацу, подтверждая мысль.

— Поэтому стенд — это только половина решения. Стенд ловит следствие. Нам нужно замкнуть петлю. Если тополог на этапе проверки чертежа видит сомнительное сужение проводника, а стенд потом на этом же месте фиксирует обрыв — мы получаем не просто отбраковку. Мы получаем проверяемую связь между проектным правилом и живым кристаллом.

— И вы предлагаете посадить вашу «Сферу» переводить эти координаты? — хмыкнул Руденко, скрестив руки на груди.

— Я предлагаю договориться о языке, Павел Николаевич, — ответил Морозов, повернувшись к технологу. — Сначала — просто договориться. Как мы называем номер кристалла, как кодируем тип отказа и как привязываем это к координатам фотошаблона. Без общего стандарта никакая автоматизация не сработает. Но если мы заложим формат сейчас, завтра инженер загрузит карту с вашего стенда в малую ЭВМ, наложит на цифровую топологию и сразу увидит, где проектная норма бьет по выходу годных.

Лазарев